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半导体大尺寸单晶硅用高纯石英坩埚品质控制工艺及装备开发
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发布时间: 2024-08-27 16:01:32 剩余时间: 224天
需求编号
FT5946899496666112
发布者
常州市生产力发展中心
需求状态
发布中
意向投入
¥3,580,000
联系方式
0519-xxxx5593 【点击查看】
为解决大尺寸硅片生长过程使用石英坩埚存在问题,研究开发高纯石英坩埚品质控制工艺及装备,研究开发需求如下:
1.开发精细化的控制技术,消除石英坩埚表面气孔;
2.开发一种可降低单晶硅的碳污染及针孔产生率的石英玻璃坩埚及其制造方法;
3.采用天然石英或者合成石英技术,达到坩埚内壁表面在品体生长前气泡为零,甚至在晶体生长后气泡为零,充分保证大直径单晶高产稳产的需求。
4.开发独特的石英砂纯化工艺。用合成石英砂代替天然石英砂,改进石英砂的颗粒和高纯度。
技术领域
先进制造与自动化,先进制造工艺与装备
需求类型
关键技术研发
有效期至
2025-08-27
合作方式
合作开发
需求来源
所在地区
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