为解决大尺寸硅片生长过程使用石英坩埚存在问题,研究开发高纯石英坩埚品质控制工艺及装备,研究开发需求如下: 1.开发精细化的控制技术,消除石英坩埚表面气孔; 2.开发一种可降低单晶硅的碳污染及针孔产生率的石英玻璃坩埚及其制造方法; 3.采用天然石英或者合成石英技术,达到坩埚内壁表面在品体生长前气泡为零,甚至在晶体生长后气泡为零,充分保证大直径单晶高产稳产的需求。 4.开发独特的石英砂纯化工艺。用合成石英砂代替天然石英砂,改进石英砂的颗粒和高纯度。
¥ 1,000,000
面议
¥ 410,000
¥ 300,000
确认收藏需求吗